微纳检测与操纵

微纳检测与操纵是指在微纳米尺度层次上进行的检测和操作，包括微纳检测和微纳操纵两个方面。

微纳检测技术主要有三个发展方向，包括纳米级精度尺寸和位移的测量、纳米级表面形貌的测量以及对材料进行纳米级表层的物理、化学、机械性能的检测与分析。其中光干涉测量技术可用于长度和位移的精确测量，也可用于表面显微形貌的测量。扫描探针显微测量技术主要用于测量表面的微观形貌和尺寸。表层显微力学探针检测技术用于连续记录探针针尖加载、逐步压入和卸载、逐步退出试件表层的全过程的压痕深度变化。

微纳操纵技术是指采用各种微细加工和纳米加工技术，对分子、原子等微观粒子和微结构进行原位、定位的操作与加工，比如搬迁、去除、增添和组装。主要包括电子束离子束加工、LIGA、扫描隧道显微加工等技术的应用和相关精密仪器设备的集成与研发。