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当前，微量化学样品的检测技术主要有：填充柱气相色谱法（GC），毛细管气相色谱法（GC），高效液相色谱法（HPLC）以及核磁共振（nmr）检测法，在定性分析的气相色谱/质谱法（GC/MS）中，毛细管柱技术占绝对优势。nmr检测方法为样品成分检测领域中的新兴技术，正越来越受到关注。核磁共振波谱分析有很多特点。比如，它对样品进行分析时没有破坏性和侵入性，而且实验方法多种多样，应用很灵活。若能充分发挥NMR的这些特性，用于直接分析和研究复杂生物样品的组成、相互作用和动力学过程等，不论对于发展NMR技术本身，还是用于医疗诊断都是有积极作用的。
按照射频线圈的结构不同，nmr探针可以分为螺线管型微探针和平面型线圈微探针。而大多数学术文章报导的是关于螺线管型微探针的研究，当样品的体积为几十纳升数量级时，对螺线管型微线圈的制作工艺要求很高。本文讲述一种平面型微线圈的设计，这种线圈的制作工艺是基于光刻平版印刷技术（photolithography），能够制作出分辨率为1 um的结构。而且，利用集成电路制造技术，可以将微线圈制作于硅元上表面，并在硅元体内利用微电子机械系统技术（mems, Micro Electromechanical System）制作出微流道。
而且，利用mems技术，可以较容易制作出平面微线圈阵列与微流道阵列，使并行波谱分析成为可能，并有可能克服目前在螺线管型微线圈波谱分析技术中存在的问题。
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