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纳米晶硅薄膜的优化:使用甚高频PECVD沉积技术或使用射频PECVD技术但采用高氢稀释率制备纳米晶硅薄膜,并研究其相变条件,着重研究通过控制实验条件来控制薄膜的禁带宽度,为后续的能带匹配研究提供基础。非晶硅锗薄膜制备条件的优化。
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纳米晶硅/晶体硅界面、非晶硅锗/晶体硅界面的优化设计及研究。着重在于界面能带匹配的研究,界面缺陷能级水平的控制,界面空间结构失配研究。
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电池制备工艺的优化。包括:衬底类型的优化、前发射极的制备、后高低结的制备、透明导电膜的制备、栅线电极的制备等。
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电池系统的优化和产业化技术路线的研究。