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引言：
国家科研院所是“科技创新”活动的重要舞台，我们肩负着科技创新、科教兴国的责任和使命，我经常思考一个问题：科技创新何以实现？与这个话题相关的讨论近来多有报道，仁者见仁、智者见智。重拾此话题的确顾虑重重，思考再三，终以 “创新路上不吝薄力”为由，写此拙字，弥补失约《新电气》创刊号约稿的过失，实现对本期投稿的承诺。不当之处，请读者批评指导。
正文：
改革开放、科技进步、技术引进和经济发展的成果让我们的工作和生活发生了巨大的变化。同时，我们仍然面临发达国家的技术垄断和限制，科技创新已经成为科技事业的核心工作。充分理解科技创新的内涵与特征，认识到科技创新的艰难曲折、任重道远，我们才能保持冷静，踏踏实实地在科技创新的道路上不断前行。
“科技创新”是原创性科学研究和技术创新的总称。原创性科学研究是提出新观点、新方法、新发现和新假设的科学研究活动，并涵盖开辟新的研究领域、以新的视角来重新认识已知事物等。技术创新是为了满足人类“新的”物质、精神及其社会的需要，利用现有或创新性科学知识与规律所创造的一切物质手段和方法。原创性的科学研究与技术创新结合在一起乃“科技创新”。
科技创新是科技发展长期积累与社会需求相互促进的产物，也是学识、战略、学术环境、竞争与合作关系等综合实力竞争的结果。有些现代的创新思想往往是受到某种古老的技术的启发，一些历史悠久的科学与技术，同样可以作为现代科学与技术的基础，孕育生长现代创新技术。例如，利用65nm 光刻技术制备当今最先进的Intel CPU时，必须采用3项分辨率增强技术，而这三项技术都和早期的某些科学思想和技术有关。（1）光学临近效应修正（OPC）技术，该技术就是借鉴古罗马石碑字旁加衬线这一方法。2千年前古罗马石碑字旁加上衬线的方法，能让远处的人更加清晰地看到石碑上的字。如今通过修正集成电路设计掩模版图的结构，加衬线（继承与借鉴）或其它修正（创新发展），最终在硅片上制备65nm甚至更小的、高保真度的图形结构和高性能芯片。
图1，左：古罗马石碑上的字；右：左图虚线部分放大的细节看到浅色衬线
（2）离轴照明（OAI）技术也源于一项历史悠久的发现。最早OAI概念是阿贝（Abbe）在1873年提出的，并预言其在显微镜中应用可以提高分辨率。1989年Mack（光刻模拟的创始人）通过仿真模拟证实了其对光刻分辨率增强的作用。目前， 多种类型的OAI技术得到不断的发展，新的OAI技术仍在研发，推动45nm－32nm光刻技术的发展。此外，浸没式成像也是阿贝（Abbe）在1873年提出，并预言其在显微镜中应用可以提高分辨率。直到2002年，浸没式光刻研究的结果才首次在国际会议上发表，2003－2006年得到迅速发展。目前，浸没式ArF光刻机可以实现45nm技术IC制备。
（3）相移掩模（PSM）技术所用到的基本概念是瑞利（Rayleigh）1896年提出来的。直到1982年，IBM的 Levenson 实现了相移掩模由概念、制备到实验验证的全部工作。90年代至今，不断发展了几种PSM技术。随着光刻线宽向45nm－32nm－22nm发展和可制造设计的需求，OPC、PSM和OAI等技术仍然有很大的创新空间。这些技术都是借鉴了前人的概念、方法或技术，历经新概念、新方法和相关科学技术的长期积累与进步，才成为服务于社会的创新性技术。
DNA双螺旋结构的发现是又一个鲜明的事例。从1865年遗传机制研究中发现了目前称为基因的遗传信息单元，促进人们在细胞核中分离出DNA、发现染色体，经历整整半个世纪的不懈努力，于1953年发现了DNA双螺旋结构。了解这个创新过程的人知道，这是20世纪美国加州理工大学的知名量子化学家鲍林领导的研究小组，英国卡文迪实验室的克里克和沃森以及伦敦皇家学院的威尔金斯和富兰克林等诸多人员长期积累、竞争与合作综合实力竞争的结果。鲍林最富有经验，但是他一直没有机会与物理学家合作,也没有机会看到DNA结构的X线分析照片，克里克与沃森有很好的合作且不计较威尔金斯从前对他的冷淡，他正确对待富兰克林纠正他初期模型的错误，发现鲍林建立与他同样错误的模型后，立即感到竞争的危机和发明的紧迫，敏锐而且及时地到富兰克实验室获取了清晰的DNA结构x线照片的信息，最后在沃森和另外一个化学家的帮助下，建立和确认了DNA双螺旋结构。对发现DNA双螺旋结构做出重要贡献的科学家有克里克、沃森、威尔金斯和富兰克林，由于富兰克林早逝，前三位获得了诺贝尔奖。
很多事实表明，科学发展与技术进步的过程，就是科技创新活动的过程，需要不断的积累和几代人的努力。其发展历程有坎坷有捷径，其成果有大有小，人员有多有少，桂冠有限，许多榜上无名的人，实际上是让他人摘取桂冠的巨人。基础科学思想、理论、概念、方法永不可弃，它对现代科技创新的作用是巨大的。当我们从公开发表的科技论文和专家论坛中发现具有创新空间的研究动态、决策参与相关竞争时，更需要智慧和分秒必争的决策、管理与踏踏实实的研发活动。
我们要充分认识科学与技术的规律和特点，不断储备科学知识，合理确定“科技创新”的战略、方法和途径，正确理解和对待创新路上的种种艰辛与坎坷，实事求是地认真对待创新途中的每一件事，重视创新途中的每一个人。创新路上要静心，更要净心；创新研究需要经费，更需要科技创新精神和科技创新思想。建立科技创新的价值观、科技创新的思维方法和工作作风、科技创新的道德伦理、高度的责任感、诚信与公正，这些是实现科技创新的首要任务，是创新文化建设的精髓。
总之，科技创新，任重道远，需要每一个人不吝薄力，不畏艰难，勤奋努力，不断学习、不断提高，坚持正义，明确职责，尽职尽责，才能取得成功。
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