电子束曝光技术研究组::中国科学院电工研究所机械工业北京电工技术经济研究所

以纳米生物医学为核心的多功能微纳尺度三维操作、表征及加工系统

　中国科学院仪器设备研制与改造项目“以纳米生物医学为核心的多功能微纳尺度三维操作、表征及加工系统”目前已验收成功。该项目开发了两项具有自主知识产权的新型关键技术：（1）开发了适合于扫描电子显微镜的高精度小型工件台及其控制系统；（2）开发了基于扫描电子显微镜的微操控自动控制和识别系统，实现了微操作臂在扫描电子显微镜中的精密控制。该系统将环境扫描电子显微镜、微纳加工技术、三维操作技术、温控技术与微电流采集有机结合，构思新颖，创新性突出，为微纳米生物医学和仿生学及纳米科技相关领域研究提供了一个重要的综合实验平台。该系统具有完整的操作和控制软件，可满足纳米生物学中检测和加工的要求，同时具有进一步扩展的能力。该项目的研制成功充分体现了仪器研制者和使用者之间的有机结合，实现了仪器研制和使用的专业化，保障了仪器研制的顺利进行，探索了仪器研制的新模式。