中国科学院电工研究所微纳加工实验室主要从事微米、纳米尺度下加工技术的研究，发展具有自主知识产权的专有技术，为我国微细加工设备的研究开发提供战略性技术储备。同时探索微纳米加工技术在微机电系统和生命科学仪器中的应用。主要研究方向有：纳米级电子束曝光机、微机电系统、DNA生命科学仪器和扫描探针显微技术。

　 仪器制造人力技术方向结构管理

　 电子电路设计、机械设计、真空系统设计、软件设计

　 微纳加工实验室使用结构管理

　 超净间管理、电子束制版间管理、工艺处理间管理