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人才库
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| 姓 名：薛虹 | | 职 称：高级工程师 | | 电子邮件：xuehong@mail.iee.ac.cn |
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学术方向：
长期从事微电子专用设备电子束曝光机系统的研究工作。主要研究工作的领域：系统总体设计，电气控制、计算机控制、真空系统控制、激光工件台控制、定位技术等方面，并负责总体调试和曝光工艺试验。
| 已承担或正在承担的课题：
曾参加过国家“七五”重大科技攻关项目“DJ-2”可变矩形电子束曝光机研制；中国科学院“八五”重大项目“深亚微米电子束曝光机”的研制；在中国科学院“九五”重大项目“0.1微米电子束曝光实验装置的研制”中任项目负责人。目前从事中国科学院重大创新试点项目“缩小投影电子束曝光系统”的研究工作。 |
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